多晶硅行业中氯硅烷残液处理利用的研究进展

摘要

生产多晶硅的过程中会产生大量的氯硅烷残液,如果处理不好,会造成很大程度的环境污染和资源浪费。因此,对于氯硅烷残液的处理与利用是多晶硅行业必须面对的一个难题。今对改良西门子法生产多晶硅时氯硅烷残液的来源进行介绍,综述关于氯硅烷残液和氯硅烷高沸物组成的相关研究。对目前处理氯硅烷残液涉及的各种方法进行了总结,分析了每种方法的优缺点。其中的水解法和燃烧法等在目前的应用广泛且工艺成熟,但存在一定程度的环境污染以及产品附加值较低造成资源浪费的问题,分析表明通过精馏法和催化裂解法处理氯硅烷残液,可以得到高附加值的产品,实现无害化处理和资源化利用。最后提出精馏法和催化裂解法具有广阔的应用前景,并指出了它们在未来的发展方向。