二维偏振无关全吸收光栅传感器的研究

摘要

采用时域有限差分方法,根据金属光栅结构表面等离激元增强吸收特性,设计了一种偏振无关的二维全吸收结构,并对各参数的影响以及传感特性进行了分析.研究结果表明,正入射情况下,在波长818nm处,吸收效率可达到98.90%以上.通过调整光栅结构参数,在保证吸收效率的基础上,吸收峰值波长可线性变化,结构的吸收特性对20°以内的入射角度不敏感.此外,吸收峰值波长对折射率变化十分敏感,FOM*的值可以超过300.这些优良的性质使这个结构在折射率(Refractive Index,RI)传感器上可以有很好的应用.