飞秒激光切割金属的表面粗糙度

摘要

为提高激光切割金属的表面质量,用不同工艺参数的飞秒激光单次切割厚度为100 μm的铜箔,并采用弱激光表面修复加工方法,取单次切割后最低粗糙度约为694 nm的表面进行弱激光再扫描修复.研究结果表明:高能量飞秒激光切割金属存在热效应,扫描电镜显示表面有颗粒氧化物,实验得到再扫描修复加工的优化工艺参数为:再扫描进给深度为10μm,速度为100 μm/s,单脉冲能量为50～100 μJ.在最优条件下,再扫描1次的表面粗糙度达220～250 nm,再扫描3次的表面粗糙度小于130 nm.该方法能有效提高飞秒激光切割金属的表面质量.