硅(100)表面上乙炔吸附反应的理论研究

摘要

采用引入晶格应变修正的ＡＭ１半径验分子轨道方法计算了乙炔在Ｓｉ（１００）表面上吸附的反应过程，并与甲基的吸附反应做了比较，讨论了引入晶格应变修正的合理性。