微米尺度格栅标准样片的质量参数评价

许晓青; 李锁印; 赵琳; 张晓东

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微米尺度格栅标准样片的质量参数评价

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论述了以CD-SEM作为核心仪器评价微米尺度格栅标准样片质量参数的方法.以某标称线距尺寸为3μm的不同材料、不同格栅高度的标准样片为例进行了各项质量参数的测量,并对实验数据进行相关因素的比对分析.通过分析,为制作优质的微米格栅标准样片提供了一定的理论参考.分析结果表明本文所述方法适用于微米尺度格栅标准样片的质量参数评价.

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来源
《宇航计测技术》 |2019年第3期|17-21|共5页
作者
许晓青; 李锁印; 赵琳; 张晓东;
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作者单位

中国电子科技集团公司第十三研究所;

河北石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

河北石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

河北石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

河北石家庄050051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH741.6;
关键词
质量参数; 微米尺度格栅标准样片; 均匀性; 稳定性; 评价;

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