会聚光束衍射测径法的研究

摘要

在利用光学衍射法和光学傅里叶变换法测径时，通常是用平行光束照射。为了解决微小直径细丝的直径测量问题，在光学傅里叶变换理论的基础上，提出了以会聚光束作为直接测量光束的测量方法，并对测量系统的参数设计进行了讨论。最后以实际测试对该方法加以论证。