定容式气体微流量校准装置吸放气特性研究

摘要

介绍了定容式气体微流量校准装置的组成和工作原理,对流量计吸放气特性进行了实验研究,给出了静态压力上升速率曲线,并对实验结果进行了理论分析,得出了对于结构复杂的真空系统要结合系统各组件的结构、历史使用情况等因素来分析系统的吸放气特性,在一定的温度下长时间全面烘烤是降低真空系统放气率的有效途径.