定容式流导法微流量校准装置的设计

摘要

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定容式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量.定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量.该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%～1.70%.