微光像增强器积分灵敏度单次测量误差分析

摘要

为了提高批量微光像增强器性能参数的测试速度,通常采信单次测试数据作为测量结果.在该情况下,参数单次测量结果的误差将直接决定性能评价结果的准确性.以微光像增强器积分灵敏度的参数测试为例开展单次测量误差评定,通过对微光像增强器积分灵敏度的测试方法、测量装置、数据计算等误差情况进行综合分析,计算得到的积分灵敏度单次测量最大误差为6.7％;在该基础上,提出了采用更高加工精度光阑、对入射光测量位置进行修正以及阶段性辅助参量重复性测量校对的积分灵敏度单次测量误差控制方案.研究结果对微光像增强器批量化快速测试具有重要的指导意义和参考价值.