薄镜面面形主动校正技术研究

摘要

采用12个主动支撑点对口径400 mm薄实验镜进行面形主动校正,使用Zygo干涉仪测量面形误差,主动支撑点的力促动器由位移促动器和力传感器组成.分别测量单个促动器的响应函数,由各促动器的响应函数组成刚度矩阵,然后用阻尼最小二乘法计算各支撑点的校正力.实验中分析主动支撑结构对各项Zernike形式像差的校正能力,并选择了7项像差进行校正.经过5次校正,使初始状态下1.16λ(λ=0.632 8 μm)RMS面形精度达到0.13 RMS,接近镜面抛光后的精度.