光栅光谱仪光路结构的设计

摘要

为提高光栅光谱仪的波长扫描精度,设计了一套可对光栅转动情况进行实时反馈的系统结构,实现了仪器在高速和高精度扫描上的统一.在对反馈结构进行设计时,应用光栅尺测位移技术对正弦丝杆上的滑块进行位移反馈,由计算机对其进行接收和处理.对比实验显示,仪器本身波长扫描精度为0.7 nm,加入反馈电路进行反馈后波长扫描精度可达0.15 nm.结果表明,加入对光栅转动情况的反馈结构后,可使光栅光谱仪满足高精度扫描要求.