电子束蒸发制备纳米ZnO薄膜及其特性研究

汪壮兵; 陈凌涛; 李祥; 鲁迎春; 梁齐

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用电子束蒸发制备一系列纳米ZnO薄膜,用XRD和AFM研究其结构和形貌,重点研究其拉曼谱.ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰,与文献报道基本一致.室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼频移只有LO模和低频E2模,且其LO模有相对频移,峰展宽,强度加强.ZnO膜的高频拉曼谱对其结构不敏感,各种制备条件下的ZnO膜其高频拉曼谱基本一致.对拉曼谱,结合XRD和AFM分析给出了初步的解释.

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来源
《安徽大学学报：自然科学版》 |2008年第2期|60-64|共5页
作者
汪壮兵; 陈凌涛; 李祥; 鲁迎春; 梁齐;
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作者单位

合肥工业大学理学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
电子束蒸发; X射线衍射; 拉曼谱; 原子力显微镜;

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