非晶碳类金刚石薄膜摩擦学特性及其应用

摘要

综合地介绍了类金刚石膜研究现状,着重说明了非晶碳类金刚石薄膜的摩擦学特性,分析了沉积方法、掺杂元素、摩擦环境、基体及对偶材料对其摩擦学特性的影响.最后,简要说明了非晶碳类金刚石膜应用情况.