濺鍍製造的非晶質碳之532nm可見光拉曼光譜數據分析方法探討與類鑽碳相關研究

摘要

类钻碳相关材料的光谱研究,随着量测条件与数据处理方法的差异,会得到不同的光谱分析结果,造成学者常以自由心证的方式解释,导致相关研究的理论与结果解读呈现混乱状态.本研究使用溅镀制备不含氢的非晶质碳膜,探讨数据处理对于相同雷射聚焦条件下连续量测之532nm可见光拉曼光谱的影响,确认一般处理光谱数据常使用的多峰曲线拟合法,会造成光谱分析的结果更为混乱.使用积分面积法分析相同量测条件的可见光拉曼光谱,得到的结果较有一致性。