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双光栅正弦相位调制(SPM)干涉测量技术的发展与应用

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摘要

简述了正弦相位调制干涉法的发展,重点介绍了双光栅正弦相位调制在物体阶梯表面的高度差、物体表面形貌和振动物体表面形貌的等测量领域的应用,并提出了用双光栅正弦相位调制测量振动物体温度的想法.

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来源
《江西科学》|2008年第5期|741-744|共4页
作者
赖秀娟;
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作者单位

南昌大学机电学院,江西,南昌,330031;

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正文语种 chi
中图分类 TU744.3;
关键词
干涉测量; 双光栅正弦相位调制; 表面形貌; 动态测量;

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