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通用Al2Cl3与NH3的气相反应合成AlN微细粉未

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前言AlN 烧结体由于具有优越的耐侵蚀性,耐热性,高的热传导性和电绝缘性,因此在半导体放热基板和化合物半导体制造用的坩埚方面得到实用。AlN 粉末的制造方法,从前通过金属铝(Al)

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来源
《江苏陶瓷》 |1989年第3期|41-47|共7页
作者
张肇;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TQ174.758;
关键词
Al2Cl3; NH3; AlN; 气相反应; 陶瓷;

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