用于神经生理组织的硅微探针的强度特性

摘要

＜正＞ 用于神经组织的薄硅探针的强度特性已为实验所证实。实验表明,只要适当地选择硅衬底的长、宽及厚度,该探针即可无损伤地透过变化的生物组织且不形成过度的凹痕。薄硅片的破裂应力极限约是大块硅片的6倍,并具有极好的柔性,它可弯曲到大于90°的角度。由15μm厚×30μm