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方澍;
中国兵器工业第214研究所;
蚌埠233042;
集成电路制造; 图形缺陷; 掩模版; 针孔; 毛刺; 套准误差;
机译:模糊理论在集成电路制造中缺陷及缺陷聚类控制图的应用
机译:变点分析在集成电路制造中缺陷阶段检测中的应用和可靠性
机译:注意缺陷多动症患儿的图形运动产生中运动控制过程的缺陷。
机译:邻接聚类,用于识别集成电路制造中的缺陷模式和产量预测
机译:从不确定性到错误:使用静态分析,统计方法和概率图形模型推断软件系统中的缺陷。
机译:图表—统计控制和分析中的图形方法简介
机译:热波在集成电路制造中的过程控制
机译:德克萨斯州理查森霍尼韦尔光电子事业部集成电路制造控制技术
机译:硅集成电路制造中的缺陷形成控制方法,氧化物质量和缺陷形成的控制方法,双扩散集成电路器件以及集成MOSFET单元的形成
机译:控制硅集成电路制造中的缺陷的方法,控制氧化物膜质量和缺陷形成的方法,以及形成双扩散集成电路器件单元和集成电路MOSFET单元的方法
机译:控制硅集成电路制造中的缺陷形成的方法,控制氧化物膜和缺陷形成的质量的方法以及形成双扩散集成电路器件单元和集成电路MOSFET单元的方法
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