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李忠明; 李俊霖; 韩冰; 唐延甫; 杨永强; 马悦;
长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 130033;
中国科学院大学 北京 100049;
圆光栅; 测角误差; 偏心; 误差补偿; 标定; 数据拟合;
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机译:具有R / D转换器和旋转变压器的CPU,该R / D转换器执行R / D转换器的检测角误差的修正方式,而旋转变压器执行旋转变压器的检测角误差的修正方式。
机译:用同心圆光栅的莫尔条纹测量二维平面位移的方法和装置
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