层压式整体陶瓷热电偶传感器制备及其性能

摘要

文中采用Si3N4为绝缘壳体,Si3N4-B4C和Si3N4-SiC为正、负极,设计制备层压式整体陶瓷热电偶传感器,并进行组织结构分析与性能测试.结果表明:热电偶各层之间以及电极复合材料中第二相与基体之间结合紧密;正、负电极复合材料呈现典型渗流导电行为;绝缘壳体与正、负电极之间具有良好的热适配性;热电偶在1 600℃时输出热电势与塞贝克系数达到242 mV和154.31μV/℃,在1 200℃保温时热电势偏差为±0.28％,表现出良好的测量精度、灵敏度和稳定度.