硅压力传感器的三维微细加工

摘要

介绍了一种制作新颖的压力传感器的工艺方法。这种传感器具有若干个谐振应变计。这些应变计均制作在膜片表面内的微真空腔中。应变计的谐振器和真空腔用一种自定位选择性外延法及一种混合选择性刻蚀法制成。真空腔制作采用了一种独特的真空密封技术。