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高静电场下的薄膜测厚技术

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摘要

针对实际生产中遇到的薄膜静电影响问题,采用了一种比较巧妙的电路方法--线圈隔离法消除了静电的影响.该技术是一种实用的在线薄膜测量技术,也可以运用到其他电容式传感器非接触式的在线测量中.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2001年第8期|40-41|共2页
作者
周余平; 于惠忠;
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作者单位

清华大学工程物理系,北京市,100084;

清华大学工程物理系,北京市,100084;

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正文语种 chi
中图分类力学量测量仪表;
关键词
电容式传感器; 薄膜测厚静; 电影响;

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