退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
王仍; 徐国庆; 储开慧; 李宁; 李向阳;
中国科学院上海技术物理研究所;
上海200083;
中国科学院红外成像材料与器件重点实验室;
Al_(2)O_(3)/HfO_(2)复合薄膜; 原子层沉积; 能谱分析;
机译:在氮化和氧化的Si衬底上生长的HfO_(2)/ Al_(2)O_(3)薄膜的原子尺度表征
机译:原子层沉积生长的TiO_(2)/ Al_(2)O_(3)薄膜的激光损伤特性
机译:通过原子层沉积法生长的Al_(2)O_(3)薄膜的光学性质
机译:Si和GaAs衬底上Hfo_2薄膜的原子层沉积
机译:用于原子层沉积Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜的存储器应用工程纳米级多铁复合材料。
机译:富GaAs(001)-4×6和As富GaAs(001)-2×4表面上三甲基铝原子层沉积的原子-原子相互作用:同步辐射辐射光发射研究
机译:si和Gaas衬底上HfO2薄膜的原子层沉积
机译:复合氧化物薄膜的原子层沉积方法。
机译:用原子层沉积法将氧化物薄膜浸入到卤化物中的卤化物掺杂源,制造卤剂掺杂物的方法,使用原子沉积法沉积到材料上的氧化物,用原子沉积法沉积的氧化膜,用原子方法沉积的薄膜用卤化物氧化薄膜
机译:能够在衬底上移动多个第二原子层和在衬底上移动多个第一原子层的原子层沉积设备,以及使用该方法的原子层沉积方法
机译:用于原子层沉积的带有氧化物元素的氧化物薄膜部分的卤化物掺杂源,用于制造卤素掺杂源的方法,具有用于沉积的氧化物层的原子层材料的氧化物与薄膜的掺杂的方法用卤代氧掺杂氧化薄膜的方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。