液相外延碲镉汞薄膜表面的结晶类缺陷分析

摘要

cqvip:利用扫描电镜、能谱分析、光学轮廓仪以及金相显微镜等测试手段对 液相外延碲镉汞薄膜表面缺陷的形貌、成分和断面进行了分析,并研究了不同 种类表面缺陷的特征及来源。结果表明,液相外延碲镉汞薄膜表面上存在的结 晶类缺陷往往尺寸较大或成片分布,对后续器件产生明显影响。通过分析其成 因可以发现,母液均匀性的提升是减少该类缺陷和提高碲镉汞薄膜质量的关键。