化合物半导体微电子技术工程研究中心（四）

摘要

Melles Griot公司生产出一种新式的光束分析器,它能同时测量连续激光束的强度、两维或三维分布和装置。分析器由一个硅探测器、一张IBM PC兼容信息处理卡和两个程序盘构成。