• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中文期刊> 《红外技术 》 >砷注入碲镉汞的激光退火

砷注入碲镉汞的激光退火

             
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

利用脉冲YAG激光器(脉宽为10ns,波长为1.06μm)对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火实验,分析注入退火引起的样品电学性质的变化,认为激光退火能够消除辐射损伤,并激活注入杂质.同时对电导率-迁移率谱这一实验方法也做了较详细的说明.

著录项

  • 来源
    《红外技术 》 |2000年第4期|26-29|共4页
  • 作者

    张燕; 李向阳; 姜润清; 孙喻明; 方家熊;

  • 作者单位

    山东大学,红外遥感研究室,山东,济南,250100;

    传感器国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;

    山东大学,红外遥感研究室,山东,济南,250100;

    山东大学,红外遥感研究室,山东,济南,250100;

    传感器国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 红外光学材料 ;
  • 关键词

    激光退火 ; 迁移率谱;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号