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激光束诱导电流谱技术表征红外器件几何结构

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摘要

硼离子注入p型HgCdTe薄膜材料制备的光伏型红外探测器光敏元实际面积对器件结构的优化设计、器件性能研究具有重要意义.通过高分辨率、非直接接触的激光束诱导电流谱表征手段获取HgCdTe光伏型器件单元的几何结构信息,结果表明离子注入形成的n型区域的面积明显大于离子实际注入的区域面积.

著录项

来源
《红外技术》 |2006年第1期|12-15|共4页
作者
陈贵宾; 全知觉; 陆卫;
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作者单位

淮阴师范学院物理系、低维材料化学省重点建设实验室,江苏,淮阴,223001;

中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
激光束诱导电流谱; 探测器单元;

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