微机械运动的光纤干涉测量

摘要

文中介绍一种无接触测量机械部件微运动情况的光纤Michelson干涉测量方法的原理、实验装置和实验结果。根据计算和实验研究，对应不同的样品反射率提出了两种不同的实验装置方案。该实验装置已初步在微电子机械系统的研究中发挥作用。