半导体传感器和MEMS国际标准化进展

摘要

6月7-9日,IEC TC47/SC47E（半导体分立器件标准化分技术委员会）和IEC TC47/SC47F（MEMS标准化分技术委员会）工作组会议及MEMS标准研讨会在日本东京召开。共有来自中国、日本、韩国的37位专家参加。中国代表团由中国电子技术标准化研究院、中电13所、航天704所、中机生产力促进中心、北京大学、