高温金属基上Al_(2)O_(3)/CeO_(2)/Al_(2)O_(3)复合绝缘层的制备及绝缘性能研究

摘要

为进一步提高镍基高温合金表面绝缘层的高温热绝缘性能,改善航空发动机在工作过程中应变传感器的性能稳定性,在 Ni 基基带表面通过直流反应溅射的方式先后制备 Al_(2)O_(3)、CeO_(2)、Al_(2)O_(3)3 层绝缘层,得到 Al_(2)O_(3)/CeO_(2)/Al_(2)O_(3)复合绝缘层,并通过 XRD、SEM 表征方法对制备的样品进行微观结构分析,最后对绝缘层进行高温绝缘性能测试。结果表明,最终制备的复合绝缘层表面十分致密,未见脱落现象,具有良好的高温绝缘性,400 ℃绝缘电阻 100.1 KΩ、600 ℃绝缘电阻 19 KΩ、800 ℃绝缘电阻 10 KΩ。相对单层 Al_(2)O_(3)绝缘层的绝缘电阻提升了两个数量级,满足了薄膜应变计在高温条件下的电绝缘要求,提高了应变测量可靠性。