测试样品的扫描电镜图像缺陷原因及解决方法

摘要

扫描电子显微镜对待测样品的要求极其严格,样品一定要不含水分、无磁性、无毒性且成分稳定,不导电和导电性差的样品要通过离子溅射仪镀膜,它是样品进行微观分析时的重要实验手段.本研究以各研究室送的检测样品为材料,应用扫描电子显微镜对各类样品进行表征.在具体操作时会出现荷电效应、边缘效应、电子束损伤、污染这4种常见的扫描电镜图像缺陷,分析了其影响因素,提出可以通过使样品导电法、降低电压法、快速观察法及减少污染法等方法解决图像缺陷问题,并展示了结果.