一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台

摘要

本实用新型涉及不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，可有效解决多个样品难以调至同一水平高度，工作效率低，样品制备难度大的问题，其解决的技术方案是，包括台体、样品台体和螺杆，台体上有若干均布的竖向腔体，样品台体经其下部的螺杆装在腔体内，本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用方便快捷，适用于各种场发射扫描电镜，通过调节样品台的螺杆升降装置，可实现对样品的同一水平高度快捷准确调节，有效地缩减了扫描过程中多次调节工作距离的时间，样品台可同时放置多个样品，以实现对多个小尺寸样品的同时装载，大大提高了工作效率，是扫描电镜样品台上方面的创新。