ZnO的用途及其薄膜的制备方法

摘要

阐述了ZnO薄膜材料的结构特点、电学性质和光学特性,详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶-凝胶法、激光脉冲沉积法、分子束外延法、原子层外延生长法.讨论并比较了各种制备方法的优缺点.