单发实验测量软X射线多层膜反射镜反射特性

摘要

提出了一种单发实验测量软X射线波段多层膜反射镜反射特性的简易方法。实验采用激光等离子体软X射线源作为光源，用平焦场光栅谱仪分光，在光路中引入掠入射镜以消除高级次谱的影响，用软X光CCD记录，在一发激光打靶实验中，测量了设计中心波长为13.9nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射特性。