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热蒸发YbF3薄膜的机械特性

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摘要

实验研究了热蒸发YbF3薄膜在大气中的应力和附着力.利用Veeco干涉仪,测试了各种工艺条件下单层YbF3薄膜的应力.结果发现:YbF3薄膜的残余应力为张应力,热应力在残余应力中的比重较大;沉积方式对薄膜应力的影响不大;薄膜应力在大气中有一个释放的过程.热处理后.YbR薄膜应力增大.

著录项

来源
《强激光与粒子束》 |2008年第8期|1306-1308|共3页
作者
张殷华; 黄伟; 张云洞;
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作者单位

中国科学院光电技术研究所,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,成都,610209;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
光学薄膜; YbF3薄膜; 应力分析; 附着力; 热蒸发;

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