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不同后处理方法对溶胶-凝胶SiO2膜层抗污染能力的影响

         

摘要

以正硅酸乙酯作为前驱体,利用碱催化方式制备了SiO2溶胶,采用提拉法在K9基片上镀制SiO2单层薄膜,分别用热处理、紫外辐射处理、氨水加六甲基二硅胺烷气氛处理和酸碱复合膜4种后处理法对膜层进行处理,采用分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪、椭偏仪等分析了薄膜的特性,通过真空环境加速污染实验对处理前后的膜层进行抗污染能力对比,结果表明:在碱性SiO2膜层上加镀一层酸性SiO2膜的复合膜层整体透过率仍保持在99%以上,疏水角达到128°,膜层真空抗污染能力大大加强.

著录项

  • 来源
    《强激光与粒子束》 |2009年第2期|240-244|共5页
  • 作者单位

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜的性质;
  • 关键词

    溶胶-凝胶; SiO2; 加速污染; 化学膜; 膜层后处理;

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