北京同步辐射装置X射线衍射实验站在材料科学研究中的应用

摘要

简述了北京商步辐射装置Ｘ射线衍射实验的实验装置，工作性能，利用Ｘ射线衍射仪开展了非晶周期多层膜，半导体超晶中结构研究，测量了Ｓｉ３Ｎ４材料残存应力微区分布。