半导体材料与器件快速热处理

摘要

快速处理由于升升温速度快，热预算小，对环境有良好的控制能力，在半导体器件制作 工艺技术中获得了应用 的地位。它与传统的批量炉比较有有许多优点。但还不能取代炉的主流地位。