三氯氢硅生产中主要潜在危险及防范措施

摘要

介绍了三氯氢硅的生产工艺、主要生产设备和原料,并利用预先危险分析方法,对三氯氢硅生产中存在的主要的潜在危险,如火灾、爆炸、化学中毒等进行事故原因分析,有针对性地提出防范措施.