氧流量对ITO薄膜粗糙度的影响

摘要

ITO(氧化铟锡)薄膜是一种应用比较多的透明导电薄膜,在不同的条件下制备的ITO薄膜,其性能也会不同。本文主要阐述了在不同的氧流量下,ITO薄膜表面粗糙度变化的情况。