石墨加热器结构设计分析

摘要

在目前光纤、多晶硅行业,高纯石墨加热器得到了广泛的应用.由于加热器过渡连接部结构设计是否合理,直接影响到加热器的使用寿命及热区均匀性,而热区的均匀性会对加热效率及产品品质造成直接影响.本文通过对加热器结构进行研究,将各部分结构的发热功率进行计算和对比分析,提出改善加热器发热均匀性及延长加热器寿命的措施,并通过实验进行验证,并提供较为适宜的石墨加热器结构设计方案.