碳源浓度对MPCVD金刚石涂层的影响研究

摘要

以CH_(4)和H_(2)为气源,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过改变碳源浓度分别为5%、10%、15%,在硬质合金(YG6)上沉积了金刚石涂层样品。使用白光共聚焦显微镜、纳米压痕仪等研究了样品的微观形貌、表面粗糙度和弹性模量。结果表明:金刚石涂层表面光滑均匀,1 mm^(2)区域表面粗糙度约为2μm,随着甲烷浓度升高,薄膜弹性模量呈先升高后下降的趋势,其中10%甲烷浓度制备的样品平均弹性模量约为457.9 GPa。