电子级多晶硅生产技术探讨

摘要

介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化(三氯氢硅合成)、低温氢化(四氯化硅转化)、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序.结合电子级多晶硅生产技术的成功工程应用实践,介绍了电子级多晶硅项目的技术特点.