从光刻胶废剥离液中回收有机溶剂

摘要

以光刻胶废剥离液为原料,采用两段精馏工艺回收乙醇胺和二甲基亚砜混合有机溶剂。通过正交实验进行工艺优化:脱水精馏工艺参数优选理论塔板数 10.0 块、塔顶压力 5.0 kPa、回流比为 5.0;精制精馏工艺参数优选理论塔板数 7.0 块、塔顶压力 1.0 kPa、回流比为 0.5。实验结果表明,在优化工艺条件下溶剂回收率高达 97.71 %,溶剂产品纯度为 99.91 %,其中乙醇胺含量为 64.40 %,二甲基亚砜含量为 35.51 %。