晶体硅电阻率控制的国内专利技术综述

摘要

随着半导体产业的发展,第一代半导体材料硅的需求量日益增大,同时也对硅的质量提出了更高的要求.硅半导体材料的发展己进入成熟阶段,其广泛的应用前景一直备受在国内外关注.硅的另一主要领域为光伏产业中作为太阳能电池材料,随着光伏产业的发转对硅的需求量也在不断增加.电阻率是硅半导体性质的主要参数,为了更全面的把握半导体硅的电阻率的技术发展趋势,本文对生长半导体硅最常用的熔体法中电阻率调控的国内相关专利进行了详细的统计分析,从不同技术手段、技术效果对晶体硅中电阻率的调控的相关专利技术进行了总结,为从事相关领域的技术人员提供关于晶体硅电阻率控制的信息.