基于Matlab的静电执行器控制仿真与研究

摘要

为研究静电执行器的动态性能，本文建立非线性系统静电执行器的数学模型，并在系统静态工作点进行局部线性化。设计静电执行器的Simulink模型，通过在不同输入信号情况下，系统的响应分析，以此研究系统的性能；对于改进型的模型，重点研究了静电执行器的“下拉．释放”动作过程。此动作过程的研究表明，静电执行器的动作过程具有局部稳定性，且存在一个全局固定稳定点。本文通过静电微执行器的控制研究，以期对微机电系统器件的控制仿真与分析提供参考。