玻璃基板热收缩率测量方法浅析

摘要

随着显示技术向高分辨率发展,TP(Total Pitch)成为面板品质的关键控制指标之一,对玻璃基板的品质提出了更高的要求,尤其是LTPS制程中的热收缩性能已成为玻璃基板的核心指标之一.热收缩性能现有5种测试方法:划线对比法、膨胀法、激光法、密度法、拉丝法.通过分析每种方法的优缺点,提出了划线对比法、膨胀法、激光法的改进方向.