浅析磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱膜”现象

摘要

根据多年维修，管理美国ＡＩＲＯＣ磁控溅射膜玻璃生产线的实践经验，全面分析了控测射玻璃“针孔”和脱膜 等膜面质量问题原因和解决方法。