浅析磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱模”现象

摘要

本文通过作者多年对维修，管理美国ＡＩＲＣＯ（爱柯）磁控射镀膜玻璃生产线的实践经验，全面分析了产生各种“针孔”和“脱模”等膜面质量问题的原因和解决方法。