MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用

摘要

蓝光LED晶片主要由超高纯氨(氮源)、有机金属化合物(MO源)和蓝宝石衬底等三大核心材料,通过MOCVD半导体外延设备生长得到。在生长过程中会有大量尾气产生。本文主要介绍了三种MOCVD尾气处理方式:催化转化处理,微分吸收法处理和压缩冷凝法,并做了比较。